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薄膜作成の基礎

麻蒔立男著. -- 第4版. -- 日刊工業新聞社, 2005. <BB00730566>
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No. 巻冊次等 配置場所 運用 資料形態 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 3階 549.8||ASA 01085433 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所 3階
運用
資料形態
請求記号 549.8||ASA
資料ID 01085433
状態
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 薄膜作成の基礎 / 麻蒔立男著||ハクマク サクセイ ノ キソ
版事項 第4版
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2005.7
形態事項 xiii, 352p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526055034
注記 参考文献: 各章末
学情ID BA72997104
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男 (1934-)||アサマキ, タツオ <AU00321431>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 真空技術||シンクウギジュツ