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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB00650182>
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西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB00650182>
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No. 巻冊次等 配置場所 運用 資料形態 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 地下1階 549.8||NIS||24 00484749 0件
No. 0001
巻冊次等
配置場所 地下1階
運用
資料形態
請求記号 549.8||NIS||24
資料ID 00484749
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編||チョウ LSI カイロ ト プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1986.8
形態事項 8, 324p : 挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310544
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB01039939> 24巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 10//bb
注記 執筆: 秋谷秀夫ほか
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN00551043
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-2018)||ニシザワ, ジュンイチ <AU00075659>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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